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非聚焦离子束研磨制备高质量EBSD样品

EBSD grain size distribution of the cross section of a gold wire within a silicon matrix from inside a CPU (central processing unit of a computer). The grains are highlighted with arbitrary colors. EBSD_grain_size_distribution_of_the_cross_section_of_a_gold_wire.jpg

背散射电子衍射技术(EBSD)能在样本表面上方数十纳米处生成电子衍射,因而它又称为一种“表面”技术。采用这种方法生成EBSD图案时,样本表面不会遭受任何损坏。本文中,我们介绍了使用EBSD高效抛光两个通过非聚焦离子束研磨制备的高难度样本的案例。

Reference

Gang Ji, et al.: Materials Characterization 89: 132–37 (2014).

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