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在此过程中,样品材料被高能氩离子束轰击,以实现高质量的横截面和平整表面,同时达到最小化变形或损伤。可以清洁、抛光或调整这些表面的对比度,以优化它们以便后续在扫描电子显微镜中的成像。手册提供英文和德文版本。
在这本手册中,您可以找到有关离子束切割如何帮助您的信息:
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