快速检测，快速响应
徕卡DM3 XL正置显微镜 DM3 XL
在微电子和半导体行业中，检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快，您做出响应的速度也就越快。
视场宽敞 30%
DM3 XL 检验系统凭借大视场帮助您的团队更快地识别缺陷，提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜，视场宽敞 30%。
更多细节尽收眼底，工作更高效
看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到 6" 的大组件，DM3 XL 提供独特的宏观物镜。
利用 0.7x 放大倍率，它可以即刻采集 35.7 mm 的视场 – 比其他常规扫描物镜宽敞 30%。
在宏观物镜下，缺陷无所遁形：
- 提高您的收益率
- 可靠检测晶片边缘或中心显影不足的区域
- 检测不均匀的径向膜厚度
适用于所有相衬观察方法的 LED
DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温，并在所有亮度等级下提供真彩色成像。
- 在所有亮度等级下实现真彩色成像
- 自由调节
- 无需更换灯泡 – 无停机时间
- 可复制的结果
由于 LED 使用寿命长，耗电量低，因此还具有巨大的成本节约潜力。
光学“高手”
DM3 XL 让您以实惠的价格享受到卓越的光学性能。
- 采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑：以简单有效的方式从不同角度照亮样品，从而实现各种形貌的可视化。
- 借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。
您将对明显提高的灵敏度和分辨率感到震惊。
请在徕卡光学中心探索徕卡物镜产品的更多信息。
不同样品 – 可变载物台插件
无论您想要检验的样品是哪种类型，尺寸如何，均有种类丰富的载物台插件供您选择：
- 载物台尺寸：150 mm x 150 mm
- 载物台插件：金属插件、晶片支座或掩模支座
- 快速的粗略或精准载物台定位
工作舒适直观
彩色编码光圈辅助 (CCDA) 对分辨率、对比和景深的基本设置进行简化，有助于提升您的工作速度，并最大程度减少操作失误。
直观明了的功能帮助您的团队更快速地交付理想结果。
- 得益于可轻松操作的控件，用户可在切换对比度或照明时，双手继续操作显微镜，双眼专注于样品之上。
- 右手可轻松操控光强控制器
- 使用可变人体工学镜筒和调焦旋钮，根据不同身高调整显微镜
Related Products
工业测量正置显微镜
Leica DM4 M & DM6 M 正置工业测量显微镜不仅可满足快速概览样品和详细检查样品的需求，独特、可靠的记忆功能可即时复制成像参数，轻松搞定重复性工作。
Leica DM2700 M 正置金相显微镜
LED照明技术全面应用于明场，暗场，微分相差干涉，偏光或荧光观察模式，一体化内置式倾斜照明最大程度的提高了表面形貌和缺陷的可视化效果
Leica DM8000 M 工业显微镜
内置一体化的LED照明保证了超长使用寿命和低能耗性，同时宏观检查模式和倾斜紫外光模式（OUV）不仅提高了分辨率还提高了检查 8”/200 毫米直径样品时工作效率。
Leica DM12000 M 工业显微镜
主要用于12”/300 毫米直径样品精密的观察和复检系统。