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为什么晶圆和半导体检测很重要？
晶圆和半导体检测在生产过程中非常重要，因为它有助于确保 IC 芯片和其他电子元件的质量和可靠性。它包括可能在制造过程中发生的缺陷、划痕或污染（颗粒、残留物等）的检测和分析 。此类缺陷或污染可能会损害组件性能、导致故障或中断顺畅的生产流程。
如何实现高效的晶圆和半导体检测？
通过各种照明和对比方法（明场、暗场、偏振光、微分干涉、紫外、倾斜照明、红外）和一系列放大倍数，可使用光学显微镜进行高效的目视检测。可以快速可靠地检测和分析晶圆和半导体上的各种缺陷、划痕和污染物。
为什么半导体检测需要横截面分析？
在生产过程中，半导体组件的散料（如 IC（集成电路）芯片）中可能存在缺陷，并会影响组件质量和可靠性。由于材料通常不透明，为了检查这些缺陷，有时需要进行横截面分析。半导体组件的内部结构在未事先进行横截面制备的情况下无法看到。然后进行分析，以观察和分析内部结构中可能存在的任何缺陷。
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半导体检测常见问题解答
半导体制造是生产集成电路（IC）芯片的过程。首先，将导电和绝缘薄膜层沉积在由硅等半导体材料制成的晶圆上。接下来，通过在晶圆顶部沉积光刻层，使其通过掩模版暴露于紫外光，然后蚀刻暴露区域来形成纳米图案。冲洗光刻层后，通过离子轰击调节图案的导电性，并形成 IC。最后，将刻蚀图案的晶圆切割成 IC 芯片，然后安装到印刷电路板（PCB）上。
半导体制造需要几个流程和步骤来生产电子组件，如 IC（集成电路）芯片。它涉及一系列纳米制造工艺和设备，如紫外光刻、干湿蚀刻和离子束。由于纳米图案的尺寸很小，因此必须避免灰尘和其他污染物，否则可能导致严重缺陷。因此，半导体制造在洁净室内进行。使用光学显微镜和其他技术进行检测是制造的重要组成部分。定期进行检测，以确保缺陷少或无缺陷和高质量组件。
![[Translate to chinese:] Optical microscope image, which is a composition of both brightfield and fluorescence illumination, showing organic contamination on a wafer surface. The inset images in the upper left corner show the brightfield image (above) and fluorescence image (below with dark background).](/fileadmin/_processed_/a/1/csm_Organic_contamination_on_a_wafer_surface_6699165cee.jpg "[Translate to chinese:] Optical microscope image, which is a composition of both brightfield and fluorescence illumination, showing organic contamination on a wafer surface.")
![[Translate to chinese:] Images of the same area of a processed wafer taken with standard (left) and oblique (right) brightfield illumination using a Leica compound microscope. The defect on the wafer surface is clearly more visible with oblique illumination.](/fileadmin/_processed_/9/1/csm_Processed_wafer_standard_and_oblique_brightfield_illumination_556d919235.jpg "[Translate to chinese:] Images of the same area of a processed wafer taken with standard (left) and oblique (right) brightfield illumination using a Leica compound microscope. The defect on the wafer surface is clearly more visible with oblique illuminati")
![[Translate to chinese:] Image of an integrated-circuit (IC) chip cross section acquired at higher magnification showing a region of interest.](/fileadmin/_processed_/a/c/csm_IC_chip_cross_section_c413bcc998.jpg "[Translate to chinese:] Image of an integrated-circuit (IC) chip cross section acquired at higher magnification showing a region of interest.")
![[Translate to chinese:] Wafer](/fileadmin/_processed_/8/8/csm_Wafer_91b323e4a8.jpg "[Translate to chinese:] Wafer")
