样品表面的离子束抛光- SEM样本制备

通常情况下，样本制备的最后一步是离子抛光。具有深表面划痕的样品无法进行离子抛光，因此实施此步骤的前提条件机械预处理完美。机械抛光后，软材料的样品表面通常会变得弥散。必须在离子抛光之前去除这种弥散材料。否则上述抛光效果不明显。

由于有机和无机组分的硬度不同，很难对油页岩实施机械抛光。其表面通常不是完全平坦。在机械抛光后进行最终离子抛光可以大大提高表面质量。另一方面，在离子抛光之前，样品表面应尽可能保持状态良好。因此，结合这两个步骤应是获得良好结果的正确方法。

制备参数

结果
这些图像显示了机械抛光和附加离子抛光后的油页岩样品。由于油页岩组分的硬度不同，其表面质量不足以成像。针对直径约20mm的区域进行额外离子抛光可获得更好的表面质量。现在可以开始观察结构细节。

机械抛光后，样品表面通常不会完全没有损伤。其表面损伤深度是研磨箔晶粒尺寸的三倍。离子抛光是去除这种损伤的有效工具。其可用于SEM和TEM样品。

制备参数

结果
图5-6显示了机械抛光和附加离子抛光后的镍基高温合金。经机械抛光后，样品表面具有许多细小的划痕。额外进行3小时离子抛光后，可去除所有这些划痕并获得理想的表面。

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