软件控制的脉冲蒸发
然而,这种测量碳膜厚度方法也有一些弊端。碳蒸发产生的热量和光线会影响晶振片振荡的频率。过一段时间,等数值稳定后,才能得出合理的膜厚测量结果。图1和图2展示了蒸发过程随着时间推移影响晶振片的过程。Flash蒸发以全功率燃烧整段碳绳。脉冲蒸发是通过一个短的特定电压发生的,以沉积少量的碳材料。Flash蒸发可以得到更厚的膜层,但其结果只受碳绳影响。在Flash蒸发过程中,样品产生大量热量。使用脉冲蒸发时,膜厚受每个脉冲的功率、脉冲时间和脉冲数量影响。相比Flash蒸发,脉冲蒸发产生的热量更少。
软件控制的碳绳脉冲蒸发是一种创新方法(由Leica Microsystems为Leica EM ACE镀膜机的新系列开发),它简化了以前复杂的过程。在每个特定的短脉冲之后,每一个脉冲后的膜厚都会得到测量。信息会反馈到过程控制中,然后再执行一个脉冲,或成功完成镀膜。这种方法首次满足了高度精确的要求,创造出了1或2纳米厚的薄层,无需经验即可完美重现。
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