快速呈现结构和缺陷
检测并分析样本上的各种结构和缺陷，如划痕和污染。有一系列照明和对比方法可供选择，如明场、暗场、偏振光、微分干涉相差 (DIC)、荧光 (Fluo) 和红外 (IR)，帮助您快速可靠地进行检测。利用紫外光照明模式提高分辨率。
利用倾斜照明获得更多表面信息。结合紫外光照明模式进一步增强了对比度。
利用 Plan Fluotar 物镜（20 倍、50 倍和 100 倍）的先进暗场技术，在断裂分析过程中通过更高的对比度更快地发现缺陷。
用不同的照明和对比方法采集的晶圆表面图像，在右侧图像中可以清楚地看到污染。
快速概览样本，节省时间
使用可选的 0.7 倍宏观物镜，快速揭示材料样本中的宏观缺陷和结构。宏观物镜提供约 36 毫米的视场，可快速定位和高效筛选，从而节省您的时间。
要检测高度超过 42 毫米的高大样本，显微镜可以配备一个“材料版”入射光轴。使用该轴时，对高度较低的样本进行检测将需要一个载物台插件。
刻蚀图案的晶圆的明场图像
通过自动化减少了调整次数
通过自动调整设置和直观的对焦操作，您可以在检测和质量控制过程中节省时间并减少错误。只需按一下按钮就可以更换物镜，照明和对比度设置也会自动调整。
电动转盘可以快速、舒适地更换物镜，减少不必要的移动，从而节省您的时间和精力。操作人员无需手动更换物镜，因此能更好地防止样本受到污染。
此外，150 倍可见光-紫外光 (VIS-UV) 物镜使您无需更换物镜即可使用所有对比方法。
通过简便的操作来检查样本
简单直观的对焦功能可帮助您快速、自信地检查样本。
- 对于具有高反射性表面的样本，例如裸晶圆，可使用焦点搜索器轻松快速地对焦。
- 对于不同高度的样本，可使用垂直范围较大的内置对焦限位装置，以保护样本免遭意外损坏。
- 借助齐焦物镜，无需重新调焦即可轻松切换放大倍数。
舒适地工作，提高工作效率
DM8000 M 和 DM12000 M 显微镜采用符合人体工学的设计，并提供自动化功能，让您在操作时不会感到疲劳，帮助您集中精力观察样本，尤其是在进行重复性检查时。
凭借可单独调节的人体工学目镜筒和高度可调的聚焦旋钮，您可以确保在日常检查和其他应用中在工作站获得满意的舒适度。
专为安全可控的环境而设计
当您需要检测任务关键型组件时，DM8000 M 和 DM12000 M 可在洁净室中使用。
- 具有表面电阻率的导电材料可保护您的产品免受静电损害。
- 封装的电动转盘专为要求苛刻的环境条件而设计。
- 集成的可见光和紫外光 LED 照明可降低污染风险。
对于洁净室，该显微镜的设计可优化其周围的气流，确保层流保持不受干扰。
DM8000 M / DM12000 M 手动款
选择手动解决方案可满足以下需求：
- 每周对样本进行基本检查
- 样本通量适中
- 手动定位样本
DM8000 M / DM12000 M 电动款
选择电动解决方案可满足以下需求：
- 每天对样本进行高阶检查
- 样本通量高
- 多位用户使用同一显微镜
找到符合您需求的解决方案
DM8000 M 和 DM12000 M 显微镜可帮助您确保高效、快速地检测 8 英寸和 12 英寸样本。各种专用的配置可满足您的特定应用需求。
| DM8000 M / DM12000 M 手动款 | DM8000 M / DM12000 M 电动款 |
| 手动定位样本 | x | x |
| 高对比度检测 | x | x |
| 精细结构可视化 | x | x |
| 紫外光和倾斜紫外光照明 | o | o |
| 自动化和简便的操作 | - | x |
x = 标配，o = 可选，- = 不可用
