Kay Scheffler , Dr.
Product Manager, Leica Microsystems CMS GmbH, Wetzlar
6英寸晶圆检测显微镜：可靠观察细微高度差异
本文介绍了一种配备自动化和可重复的DIC（微分干涉对比）成像的6英寸晶圆检测显微镜，无论用户的技能水平如何。制造集成电路（IC）芯片和半导体组件需要进行晶圆检测，以验证是否存在影响性能的缺陷。这种检测通常使用光学显微镜进行质量控制、故障分析和研发。为了有效地可视化晶圆上结构之间的小高度差异，可以使用DIC。
晶圆上的光刻胶残留和有机污染物的可视化
随着半导体上集成电路（IC）的尺寸低于10纳米，在晶圆检测中有效检测光刻胶残留等有机污染物和缺陷变得越来越重要。光学显微镜仍然是常见的检测方法，但对于有机污染物，明场和其他类型的照明可能会存在局限性。本文讨论了荧光显微镜如何在半导体行业的QC、故障分析和研发过程中有效检测晶圆上的光刻胶残留和其他有机污染物。
高效清洁度分析的关键因素
在汽车和电子行业，零部件上细小的污染颗粒物也可能影响产品的性能，导致产品出现故障，或使用寿命缩短。对于汽车来说，过滤系统很容易受到影响。对于电子产品来说，印刷电路板（PCB）或连接器上的污染可能会导致短路。因此，清洁度在现代制造业的质量控制中占有核心地位，特别是使用由不同供应商生产的部件时，更要重点关注清洁情况。车辆或设备的关键部件如果受到污染，整个系统就可能发生故障。因此，高效清洁度分析过程必须…
工业应用中倒置显微镜相较于正置显微镜的五大优势
使用倒置显微镜时，您需要从下方观察样本，因为倒置显微镜的光学元件位于样本下方，而使用正置显微镜时，您需要从上方观察样本。一直以来，倒置显微镜主要用于生命科学研究，因为重力将样本沉入含有水性溶液的托座底部，从上方则无法观察到太多内容。但近段时间以来，倒置显微镜在工业应用中也变得越来越流行。我们现在一起来了解倒置显微镜在工业应用中的优势。
确定颗粒物破坏潜力的三个主要因素
本文讨论了确定颗粒物对汽车和电子行业中的零件和组件的破坏性潜力三个主要因素，分别是颗粒物反射率、高度和成分。光学显微镜可以评估颗粒物的反射率和高度，但颗粒物成分的评估则需要使用激光诱导击穿光谱（LIBS）等光谱分析方法。结合显微镜和LIBS的二合一解决方案可以帮助用户高效确定颗粒物的损坏潜力。
选择清洁度分析解决方案需考虑的因素
正确的清洁度分析解决方案对质量控制至关重要。本文介绍了选择适合自身需求的解决方案时应考虑的一些重要因素。这些因素取决于不同的方面，例如：（微电子或汽车）行业，污染物类型、尺寸、成分、材料属性和可能造成的损害等。从基本的清洁度验证到更复杂的分析，有多种基于显微镜和激光光谱的清洁度解决方案可供选择。
高效颗粒计数和分析
本报告介绍了使用光学显微镜对零部件的清洁度进行颗粒计数和分析的方法。颗粒计数和分析对汽车和电子行业的质量保证非常重要。颗粒污染可能会导致零部件退化或失效。清洁度分析能快速确定颗粒的大小、类型以及造成损坏的概率。对于更高级的分析（如确定颗粒成分），则可以使用光学显微镜和激光诱导击穿光谱（LIBS）。
显微镜下的质量控制
电动汽车需求的快速增长是推动市场发展的重要因素，但不是唯一因素，其他因素包括可再生能源装置日益普及（如光伏板），各种医疗设备广泛采用锂离子电池，以及便携式消费电子产品的市场逐步扩大。
汽车零部件的清洁度
本文讨论了ISO 16232标准和VDA 19指南，并简要总结了颗粒物分析方法。它们为汽车零部件在微粒污染方面的清洁度提供了重要标准。此类颗粒物会对产品性能和寿命产生影响。在清洁度分析中，可以使用自动光学显微镜方法来确定颗粒物类型、大小和造成损坏的可能性。有时，需要更多成分信息，才能准确找到潜在的损害和污染源。这时候就需要借助激光光谱（LIBS）或电子显微镜。
控制药品中的微粒污染
本文阐述了如何使用光学显微镜和激光诱导击穿光谱（LIBS）相结合的二合一方法识别制药行业中的微粒污染物。药物和静脉注射溶液等药品的微粒污染可能会导致严重问题。为消除药品微粒污染，最重要的是能够快速、准确地识别污染，甚至能够快速找到污染源。激光诱导击穿光谱可以对材料进行快速的多元素分析。本文介绍的二合一方法可以同时提供目视检查（颜色和形状）和化学（成分）分析，可快速、可靠地识别非监管环境中的微粒污染…
利用光学显微镜和激光光谱的2合1解决方案，对检测材料执行深度剖析和分层分析
除了同时进行视觉和化学检查外，结合了光学显微镜和激光诱导击穿光谱技术（LIBS）的2合1材料分析解决方案还可用于高效执行深度剖析。深度剖析可以成为整个材料分析工作流程的其中一环。本文讨论了用2合1解决方案对涂层材料进行快速深度剖析的方法。检测具有多层涂层，或散装材料内有多种成分的部件或零件时，深度剖析是非常有效的方法。印刷电路板（电子）上的涂层和车辆（汽车和运输）上的油漆和防腐蚀涂层就很适合进行深…
钢材微结构的目视和化学分析：快速评定钢质量
本文介绍了使用结合光学显微镜和激光诱导击穿光谱仪（LIBS）的二合一解决方案对钢材非金属夹杂物（NMI）进行同步视觉和化学分析的方法。钢是一种在多行业广泛应用的材料。典型的应用领域包括交通（汽车、航空和铁路）、建筑和船舶建造以及能源（油气管道）。在部分高要求应用中，使用创新钢合金以及钢材回收再利用的普及度正在不断上升。钢材的质量主要取决于其成分和微结构（夹杂物、晶粒、沉淀物和其它相）。国际、区域和…
用显微镜观察结构——借助激光光谱了解结构成分
本报告介绍了使用光学显微镜和激光诱导击穿光谱(LIBS) 二合一材料分析解决方案进行同步视觉和化学检测的优势。报告还解释了二合一解决方案的基本工作原理，并将它与其它常用材料分析方法进行了对比，例如扫描电子显微镜…
